1. 통계학 용어
- 기초통계학에서, SEM이란 평균의 표준오차(standard error of the mean)의 약자이다. 때로 SEM 혹은 SEMean 으로 표기하기도 한다.
- 응용통계학에서, SEM이란 구조방정식 모형(structural equation modeling)의 약자이다.
2. 주사식 전자 현미경
Scanning Electron Microscope현미경의 일종으로, 진공에 놓인 시료의 표면을 1~100 nm의 전자선으로 관측하는 현미경이다. 1965년 최초로 상품화되었다. SEM은 연구개발뿐만 아니라 첨단장비의 품질관리에도 유용하게 사용되고 있다.
SEM의 컬럼부는 전자총, 집속렌즈와 대물렌즈, 주사코일로 구성되어 있다. 전자총은 전자빔을 발생시키고 가속시키는 부분, 집속렌즈와 대물렌즈는 전자빔을 가늘게 모아주는 부분, 주사코일은 전자빔의 경로를 조절하는 부분이다. [1]